三氟化氯（ClF3），相对分子量为92.45，是一种腐蚀性、无色有甜味的气体，降温变为绿色液体，即使在低浓度时也有高度刺激性，具有强氧化性。在高温时，三氟化氯能够点燃许多有机化合物和许多金属，遇水产生猛烈反应，水解产生有毒物质。在半导体工业中，三氟化氯用于清洗化学气相沉积腔室，它可以用于从室壁去除半导体材料，而不必拆卸腔室，不需要使用等离子体的激活，腔室的热量足以使其分解并与半导体材料反应。

产品指标

产品用途：

在半导体工业中，三氟化氯可用于清洗化学气相沉积腔室。此外，三氟化氯还可用作氟化剂、燃烧剂、推进剂中的氧化剂、高温金属的切割油等。        

包装、贮存：

三氟化氯储存于标准无缝钢瓶中，包装规格有500g，1kg，2kg。具体包装规格可根据用户要求定制更改。三氟化氯储存于阴凉