六氟-1, 3-丁二烯是一种无色无味的液化可燃气体，在空气中燃烧极限为7%〜73%,它作为刻蚀气体用于半导体制程的等离子刻蚀，与传统使用的全氟饱和氟碳类蚀刻气体CF₄、C2F₆、C₃F₈、C-C₄F₈和NF₃相比，六氟丁二烯具有更高的蚀刻选择性、精确性和纵横比。

技术指标：

产品用途：

在电子工业中用作刻蚀气体，还可用于生产含氟聚合物'火箭燃料用的键合剂、麻醉剂'制冷剂以及抗霜聚合物用的一种交联剂等。