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六氟化钼 CAS#: 7783-77-9
低温下为白色结晶固体,吸湿性大,在潮湿空气中产生蓝烟,是一种强氧化剂。在空气中允许极限浓度(TLV)为5mg/m3。产品用钢瓶充装,按有毒气体贮运。
产品指标:
产品用途:
六氟化钼的主要应用领域是在微电子工业中用化学气相沉积硅化钼或钼,以制作低电阻、高熔点的互连线,也可用作强氟化剂、成膜材料及离子掺杂剂,还可用于钼同位素分离。
订货信息:
包装、贮存:
六氟化钼充装在钢质无缝气瓶中,钢瓶容积分别为8L和47L,具体包装规格可根据用户需求定制更改。六氟化钼储存干阴凉、干燥、通风良好的库房中,远离火种、热源。储区应备有泄漏应急处理设备。