五氟化钽（TaF5），相对分子量为276，熔点为96.8℃，沸点为229.5℃，是一种白色结晶，折光能力强。五氟化钽微溶于热的二硫化碳和四氯化碳溶液中，溶于水和乙醚、氢氟酸、硝酸、发烟硝酸，在空气中吸湿而不水解。高纯五氟化钽在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钽或钽膜，制作低电阻、高熔点的电路互连线和栅极。五氟化钽在电子元器件表面、半导体器件表面、钛及金属氮化物电极表面、金属钨表面上，可形成附着力极强、厚度为0.1μm级的绝缘薄膜，具有高的介电率。

产品指标

产品用途：

五氟化钽在电子工业中用作化学气相淀积硅化钽或钽膜，制作低电阻、高熔点的电路互连线和栅极。

包装方式：

一般采用四氟瓶包装。