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氟化氢(HF),又名氢氟酸,分子量为20.01,为无色透明液体。在空气中发烟,有刺激性气味,能与一般金属、金属氧化物以及氢氧化物发生反应,生成各种盐类。氟化氢腐蚀性极强,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。氟化氢在电子工业等领域有着广泛且重要的应用。电子级氟化氢主要作为清洗剂和蚀刻剂,广泛应用于光伏产业、集成电路和玻璃减薄等行业,是关键辅助材料之一。它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。
产品指标
产品用途:
在集成电路和超大规模电路制造中,氟化氢用于晶圆表面清洗、芯片加工过程的清洗和腐蚀等。在玻璃减薄行业中,氟化氢用于液晶显示器玻璃基板的清洗、氮化硅及二氧化硅蚀刻等。超净高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂,可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵、氟化铵等配置使用,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。
包装、贮存:
电子级氟化氢充装在钢质无缝气瓶中,钢瓶容积分别为44L、47L和440L等。具体包装规格可根据用户要求定制更改。钢瓶衬里材料为为高密度聚乙烯(HDPE)、四氟乙烯和氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)、聚四氟乙烯(PTFE)等。氟化氢储存于阴凉、通风的库房中,远离火种、热源,库温不宜超过30℃。应与易(可)燃物、食用化学品分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。