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山东省淄博市淄川新材料园(光电园区)
  • 产品名称: 全氟丁二烯
  • 产品编号: ZSR2316
  • 上架时间: 2017-02-24
  • 浏览次数: 371

一、基本特性

 

中文名称:

全氟丁二烯

CAS:

685-63-2

英文名称:

Hexafluorobutadiene-1,3

 

 

分子式:

C4F6

 

 

熔 点:

-132℃

分子量:

162.03

沸点:

6℃

 

 

 折光率:

1.378

 

 

密度(g/mL):

1.425

 

 

外观:

无色无味液化气体

 

 

分子结构式:

 

 

 

二、技术指标

 

Carbon Monoxide (CO)

≤10

ppmv

Carbon Dioxide (CO2)

≤40

ppmv

Active Fluorides (HF)

≤10

ppmv

Fluorocarbons

≤790

ppmv

Nitrogen (N2)

≤40

ppmv

Isopropyl Alcohol (IPA)

≤20

ppmv

Oxygen and Argon (O2 & Ar)

≤10

ppmv

Water (H2O)

≤20

ppmw

 

 

三、特性

与传统使用的全氟饱和氟碳类蚀刻气体CF4、C2F6、C3F8、c-C4F8和NF3相比,六氟丁二烯具有更高的蚀刻选择性、精确性和纵横比,可以蚀刻小于100 nm 甚至更窄的电子线路。

此外,六氟丁二烯在大气中的寿命小于2d,全球变暖潜能值(GWP)仅为290,同比经典的蚀刻气C3F8和c-C4F8,六氟丁二烯在蚀刻过程中所排放的GWP 分别降低了80%和82%,且其分子中不含氯,从而对地球大气的臭氧层呈现惰性。

 

四、功能用途

   作为刻蚀气用于半导体产品的等离子介质刻蚀。