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山东省淄博市淄川新材料园(光电园区)
  • 产品名称: 八氟丙烷
  • 产品编号: ZSR218
  • 上架时间: 2017-02-24
  • 浏览次数: 171

半导体制程材料      八氟丙烷   

         八氟丙烷是由七氟丙烷和氟气反应生成,再经过粗提纯、精馏后得到电子级产品。电子级高纯八氟丙烷应用在半导体材料、半导体器件制造中,与氧气的混合气用作等离子蚀刻材料,会选择性地与硅片的金属基质作用,此外,在医学领域也有应用。

 

项目

单位

指标

名称

 

八氟丙烷

CAS

 

76197

分子式

 

C3F8

分子量

g/mol

188.02

相对密度(相对空气)

kg/m3

6.6

沸点

-36.7

外观

 

无色气体,

溶解性

 

难溶于水

稳定性

 

稳定

危险标记

 

5(不燃气体)

项目

单位

指标

C3F8

Vol.%

99.999

99.9995

O2+Ar

Vol.ppm

1

0.5

N2

Vol.ppm

5

1

CO

Vol.ppm

0.5

0.5

CO2

Vol.ppm

0.5

0.5

CF4

Vol.ppm

0.5

0.5

C2F6

Vol.ppm

0.5

0.5

CH4

Vol.ppm

1

1

H2O

Vol.ppm

1

1

酸度(以HF计)

Wt. ppm

0.1

0.1

总杂质含量

Mol.ppm

10

5

 

       在半导体工业中,用作等离子蚀刻材料;在医学中,八氟丙烷可组成超声造影剂的气体,并用于超声造影成像。在R-218中,八氟丙烷作为制冷混合物的成分之一。

       应充装在经特殊处理的洁净、干燥的无缝高压气瓶中,气瓶容积一般为40L12.5L10L8L4L等,也可根据用户需要选用各种容积的气瓶或其它容器。