企业邮箱              联系我们

站内搜索: 商品 资讯

人力资源部:0533-5677419
办公室电话:0533-5677666
传真:0533-5677666
山东省淄博市淄川新材料园(光电园区)
  • 产品名称: 六氟乙烷
  • 产品编号: ZSR116
  • 上架时间: 2017-02-24
  • 浏览次数: 155

一、基本特性

 

国标编号:

22034

CAS:

76-16-4

中文名称:

六氟乙烷

 

 

英文名称:

Hexafluoroethane

 

 

别名:

R116;全氟乙烷

 

 

分子式:

C2F6;CF3CF3

分子量:

138.0

熔点:

-101℃

 

 

密度:

相对密度(水=1)1.61;

 

 

溶解性:

微溶于水

 

 

稳定性:

稳定

 

 

外观与性状:

无色、无气味、非易燃的气体,在24.3℃以上时不能保持液态,通常装在耐高压钢瓶内。

 

 

危险标记:

5(不燃气体)

 

 

 

 

二、技术指标

 

成分

含量

单位

C2F6

≥99.999

%V

N2

≤5

ppmv

O2

≤1

ppmv

H2O

≤1

ppmv

CO2

≤0.5

ppmv

THC(CF4

≤1

ppmv

其他碳氢化合物

≤10

ppmv

酸度(HF)

≤0.1

ppmw

 

 

 

三、功能用途

  • 电子产品的清洗及蚀刻应用:

   六氟乙烷因其无毒无臭、高稳定性被广泛应用于半导体制作过程中,例如作为蚀刻剂、化学气相沉积(CVD)后的清洗腔体。并且六氟乙烷作为干腐蚀剂具有边缘侧向侵蚀现象极微、高蚀刻率及高精确性的优点,可以极好地满足线宽较小的制程的要求。

  • 医学领域的应用:

   六氟乙烷应用于巩膜扣带术中,取得良好效果,是黄斑裂孔性视网膜脱离手术中较为理想、安全、并可提高手术治愈率的玻璃体替代物。