企业邮箱              联系我们

站内搜索: 商品 资讯

人力资源部:0533-5677419
办公室电话:0533-5677666
传真:0533-5677666
山东省淄博市淄川新材料园(光电园区)
  • 产品名称: 三氟化氮
  • 产品编号: ZSTFN
  • 上架时间: 2017-02-24
  • 浏览次数: 271

一、基本信息

三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,是一种强氧化剂。

CAS登录号:7783-54-2

中文名称:三氟化氮,氮氟化物

英文名称:Nitrogen Trifluoride,Nitrogen Fluoride

分子式:NF3

 

二、物理化学特性

气体分子量:71.01,熔点:–206.8℃(1atm),沸点:–129℃(1atm),临界温度:–39.3℃,临界压力44.02atm4.46MPa),液体密度:1554 kg/m31atm,沸点时),气体密度:2.95 kg/m1atm,21℃),水中溶解度(1atm22℃):1.43×10-5当量浓度

纯净的NF3气体是一种无色无味的气体,当混入一定量的杂质气体后颜色发黄,同时会有发霉或刺激性气味。NF3气体不可燃,但能助燃。当温度超过350℃时,三氟化氮气体会缓慢分解,分解时产生强氧化性氟。因此,在高温下它是一种强氧化剂。当受热或者遇到火焰、电火花时能着火,甚至可能发生爆炸。

三氟化氮与氢气、油、有机物等许多物质激烈反应,而且能燃烧。与金属氧化物反应生成多种亚硝基化合物。微溶于水,在中性或强酸性溶液中不发生水解,在100℃的氢氧化钠溶液中缓慢水解生成亚硝酸盐和氟化物,在水溶液中与碘化物反应生成NH3N2。在高温下,三氟化氮能与很多元素发生反应,和金属或非金属反应可生成N2F4和相应的氟化物,与碳反应生成四氟化碳和氮气,与氢气反应,在瞬间伴随放出大量的热。三氟化氮与有机化合物反应除了升高温度外,一般需要引发才能发生,在这些条件下,当三氟化氮暴露于有机物时,常伴有爆炸性反应。

 

三、用途

三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,使其在液晶面板清洗工艺及超大规模集成电路制造刻蚀和清洗工艺等领域得到了广泛应用,三氟化氮已成为微电子器件制程工艺中不可缺少的重要关键工艺材料。此外,三氟化氮用作大功率激光器工作介质和火箭推进剂的研究工作在发达国家特别是美国、欧盟、日本、俄罗斯等国家长期以来受到高度重视,预计在未来的武器装备、国防和航空航天领域将会有重要用途。

三氟化氮的另一个用途是可作为元素氟的替代物,用于以氟作为原料的工业领域如特种氟材料、含氟医药、含氟农药工业等,解决了纯氟不能大量运输和储存的难题,有利于开发和利用氟化工产品,推动相关科技和工业领域的发展。

 

四、产品质量标准与分析方法

三氟化氮及其所含各项杂质分析检测方法已比较完善,具体可参阅国际半导体行业协会标准SEMIC3.39-0999三氟化氮(NF3)标准及中国国家标准GB/T21287—2007电子工业气体三氟化氮。

项      目

指      标

三氟化氮(NF3) ,10-2(体积分数)≥

99.5

99.9

99.98

99.99

99.996

四氟化碳(CF4) ,10-6(体积分数)≤

1500

500

100

50

20

氮(N2) ,10-6(体积分数)≤

700

50

10

10

5

氧加氩(O2+Ar) ,10-6(体积分数)≤

700

50

10

5

3

一氧化碳(CO)  ,10-6(体积分数)≤

50

10

10

5

1

二氧化碳(CO2)  ,10-6(体积分数)≤

25

10

10

5

0.5

氧化亚氮(N2O) ,10-6(体积分数)≤

50

10

10

5

1

六氟化硫(SF6) ,10-6(体积分数)≤

50

50

10

5

2

可水解氟化物(以HF计)或总酸度 ,10-6(体积分数)≤

1

1

1

1

1

水(H2O),10-6(体积分数)≤

1

1

1

1

1