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半导体制程(支撑)材料

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三氟碘甲烷 CAS号:2314-97-8 半导体蚀刻材料

更新时间:2020-07-04 点击数:3941

三氟碘甲烷CF3I作为一种新型环保绝缘气体,替代SF6应用于电力行业。它具有良好环境特性,绝缘强度优于SF6CF3I的击穿分解不会产生有毒产物,一定条件下对绝缘强度等不会产生负面影响。

产品指标

产品用途:

三氟碘甲烷作为灭火剂有灭火效率高、安全性能好、灭火后不留痕迹等特点,是哈龙1301优选替代品种;作为制冷剂,具有油溶性和材料相容性好的特点,是传统氟利昂制冷剂的理想替代品种之一。作为精密仪器清洗剂,对油污清洗彻底,不需要添加表面活性,且气体循环使用,不产生二次污染。医药级三氟碘甲烷广泛应用于抗癌药物(ABT263,ABT737)。高纯三氟碘甲烷可用于半导体刻蚀,与同种刻蚀气体CF4、C4F6相比,蚀刻时具有更高的选择性和高深宽比。      

包装、贮存:

三氟碘甲烷充装在钢质无缝气瓶中,钢瓶容积分别为1L、4L、40L、47L、100 L,具体包装规格可根据用户需求定制更改。三氟碘甲烷储存干阴凉、干燥、通风良好的库房,远离火种、热源。库温不宜超过30℃,储区应备有泄漏应急处理设备。



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